庫號(hào)：D377516

主機(jī) 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
真空規(guī) 皮拉尼真空計(jì)
靶（上部電極）尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H），Au（標(biāo)配）
樣品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃
濺射面積 Φ50mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
大電流 50mA
定時(shí)器時(shí)間 0-360s
微型真空氣閥 可連接φ3mm軟管
可通入氣體 多種
高電壓 -1600DCV
電源 220V AC,50Hz接地三腳插頭
機(jī)械泵 2L/S
重量 ~20Kg

V

主機(jī) 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
真空規(guī) 皮拉尼真空計(jì)
靶（上部電極）尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H），Au（標(biāo)配）
樣品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃
濺射面積 Φ50mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
大電流 50mA
定時(shí)器時(shí)間 0-360s
微型真空氣閥 可連接φ3mm軟管
可通入氣體 多種
高電壓 -1600DCV
電源 220V AC,50Hz接地三腳插頭
機(jī)械泵 2L/S
重量 ~20Kg

主機(jī) 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
真空規(guī) 皮拉尼真空計(jì)
靶（上部電極）尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H），Au（標(biāo)配）
樣品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃
濺射面積 Φ50mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
大電流 50mA
定時(shí)器時(shí)間 0-360s
微型真空氣閥 可連接φ3mm軟管
可通入氣體 多種
高電壓 -1600DCV
電源 220V AC,50Hz接地三腳插頭
機(jī)械泵 2L/S
重量 ~20Kg

主機(jī) 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
真空規(guī) 皮拉尼真空計(jì)
靶（上部電極）尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H），Au（標(biāo)配）
樣品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃
濺射面積 Φ50mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
大電流 50mA
定時(shí)器時(shí)間 0-360s
微型真空氣閥 可連接φ3mm軟管
可通入氣體 多種
高電壓 -1600DCV
電源 220V AC,50Hz接地三腳插頭
機(jī)械泵 2L/S
重量 ~20Kg

主機(jī) 300mm×360mm×380mm（W×D×H）
真空規(guī) 皮拉尼真空計(jì)
靶（上部電極）尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H），Au（標(biāo)配）
樣品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃
濺射面積 Φ50mm
高真空度 ≤4×10-2mbar
大電流 50mA
定時(shí)器時(shí)間 0-360s
微型真空氣閥 可連接φ3mm軟管
可通入氣體 多種
高電壓 -1600DCV
電源 220V AC,50Hz接地三腳插頭
機(jī)械泵 2L/S
重量 ~20Kg

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