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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科Model:LR180多級(jí)羅茨型干泵 北崎熱賣
多級(jí)羅茨型干泵Model:LR
通過(guò)低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
低溫區(qū)域均熱化（Model:LR） 氦氣密封 瞬停對(duì)策 *的耐腐蝕性 通信功能特點(diǎn)
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等） 縮短備料下料室的排氣時(shí)間 作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）用途
*1 請(qǐng)訂購(gòu)時(shí)。 *1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進(jìn)行MBP表面處理。 ■消音器 (選項(xiàng)) LR60 LR90 LR180 LR421-T LR300 / LR600 LR1200 LR1800 LR3601(-R / -TR / -TTR) LR3601(-T / -TT)規(guī)格
型號(hào) LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T *
排氣速度50Hz 62 m3/h
(1030 L/min)112 m3/h
(1860 L/min)183 m3/h
(3100 L/min)440 m3/h
(7333 L/min)440 m3/h
(7333 L/min)60Hz 80 m3/h
(1333 L/min)126 m3/h
(2100 L/min)237 m3/h
(3950 L/min)到達(dá)壓力 5.0 Pa *排氣壓力 （吸入圧力） 大氣壓 *排氣口壓力
（排出圧力）1~ 大氣壓 Pa 吸氣口 (CE規(guī)格) VG50(KF50) VG80(KF50) VG100 排氣口 KF40 VG50 質(zhì)量 180 kg 245 kg 335 kg 415 kg 電源 *1 三相 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)電流值 穩(wěn)定時(shí) 6.9 A
(at 200V)11.2 A
(at 200V)18.9 A
(at 200V)20.8 A
(at 200V)*值 7.3 A
(at 200V)11.8 A
(at 200V)20.6 A
(at 200V)48.5 A
(at 200V)冷卻水一次壓力 0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa 冷卻水出入口壓差 >0.1 MPa >0.2 MPa 冷卻水流量 >5.0 L/min >4.0 L/min 吹掃氣 一次壓力 0.1~0.5 MPa 二次壓力 0.05~0.1 MPa 氮?dú)獯祾?/td> 軸 5 SLM 氣鎮(zhèn) 0~45 SLM 沒(méi)有 0~45 SLM 型號(hào) LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601 LR3601-T
(TT)LR3601-R LR3601-TR
(TTR)使用泵 干式
真空泵LR60 LR90 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T 機(jī)械
增壓泵PRC-03A PRC-06A PRC-012A PRC-018A PRC-036C PRC-036C
(-T)PRC-036D PRC-036D
(D-T)*
排氣
速度50Hz 359 m3/h
(5,980
L/min)653 m3/h
(10,900
L/min)1,012 m3/h
(16,900
L/min)1,701 m3/h
(28,350
L/min)3,200 m3/h(53,333 L/min) 60Hz 365 m3/h
(6,080
L/min)701 m3/h
(11,700
L/min)1,051 m3/h
(17,500
L/min)1,784 m3/h
(29,700
L/min)到達(dá)壓力 0.67 Pa *排氣壓力
（吸入圧力）大氣壓 *排氣口壓力
（排出圧力）1~ 大氣壓 Pa 吸氣口 (CE規(guī)格) VG80
(KF80)VG100
(KF100)VG150
(KF100)VG150 排氣口 KF40 KF50 MBP表面處理 〇 *1 〇 *1 〇 *1 〇 *1 × T:×
TT:×× TR:×
TTR:〇質(zhì)量 275 kg 370 kg 420 kg 545 kg 660 kg 720 kg 660 kg 720 kg 電源
*2三相 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz) 電流值 穩(wěn)定時(shí) 7.0 A
(at 200V)12.3 A
(at 200V)13.7 A
(at 200V)21.4 A
(at 200V)31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)*值 9.6 A
(at 200V)19.0 A
(at 200V)24.2 A
(at 200V)39.8 A
(at 200V)58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)冷卻水
一次壓力0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa 冷卻水
出入口壓差>0.1 MPa 0.1~0.3 MPa 0.2~0.5 MPa 冷卻水流量 >5.0 L/min >4.0 L/min 吹掃氣 一次
壓力0.1~0.5 MPa 二次
壓力0.05~0.1 MPa N2
吹掃軸 5 SLM 氣鎮(zhèn) 0~45 SLM 沒(méi)有 *3 0~45 SLM 沒(méi)有 *3 0~45 SLM
*2 請(qǐng)訂購(gòu)時(shí)。
*3 根據(jù)用途，使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報(bào)價(jià)。配飾
型號(hào) 材質(zhì) 表面處理 重量
(kg)法蘭
接口LR
300LR
600LR
1200LR
1800L&
3601LR
60LR
90LR
180LR
421LR
421-TRS-01 +
kitASUS
304GBB處理 4.1
kgKF40 〇 - - - - 〇 〇 - - - RS-01 +
kitBKF40 - 〇 〇 - - - - - - - RS-02 +
kitA8.3
kgKF40 〇 - - - - - - 〇 - - RS-02 +
kitBKF40 - 〇 〇 〇 - - - - - - RS-03 +
kitA磨板 12.5
kgKF50 - - - - - - - - 〇 〇 RS-03 +
kitB- - - - 〇 - - - - - 排氣速度曲線
