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P3000XL 高靈敏度氦氣泄漏測試日本COSMO北崎有售
2025/03/01 11:33:46
LDS3000 / LDS3000 AQ / P3000(XL)氦氣泄漏測試
- 輕型緊湊型
- 高速檢查
- 高靈敏度
- 用于系統(tǒng)集成
基本規(guī)格
使用氦氣的泄漏測試方法
真空方法 如何對
工件內(nèi)部進(jìn)行真空
- 真空噴涂法
- 真空罩法
加壓法 對
工件中的氦氣加壓的方法
- 嗅探器
- 真空鐘罩法
- 加壓集成方式
- 轟炸方式(工件沒有加壓口的地方)
選擇測試方法的示例

每種測試方法的特點(diǎn)
此外,還提供氦氣混合器和氦氣回收裝置,以降低運(yùn)行成本,因此請單獨(dú)與我們聯(lián)系。
我們將根據(jù)初始成本和運(yùn)行成本提出建議。
真空法
測試方法 | 真空噴涂法 | 真空罩法 |
---|---|---|
檢漏精度 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 |
整體測量 | × | ○ |
泄漏位置 | ○ | × |
自動(dòng)化 | △ | ○ |
初期成本 | ○ | △ |
運(yùn)行成本 | △ | △ |
維護(hù)成本 | △ | △ |
受影響的產(chǎn)品 |
![]() LDS3000 |
加壓方式
測試 方法 |
真空 Bellger 法 |
轟炸方式 | 嗅探器 | 加壓集成方式 |
---|---|---|---|---|
泄漏檢測 精度 |
1E-07帕米3 /sec 或更高 | 1E-09Pa?m3 /sec 或更高 | 1E-06帕米3 /sec 或更高 | 1E-05帕米3 /sec 或更高 |
整體測量 |
○ | ○ | × | ○ |
泄漏位置識(shí)別 |
× | × | ○ | × |
自動(dòng)化 | ○ | ○ | △ | ○ |
初期 成本 |
× | ○ | ○ | △ |
運(yùn)行 成本 |
× | △ | × | × |
維護(hù)成本 |
× | × | △ | △ |
受影響的產(chǎn)品 |
![]() LDS3000 |
![]() P3000(XL) 系列 |
![]() LDS3000AQ |
測試方法詳細(xì)信息
真空法
真空噴涂法
這是一種通過對工件內(nèi)部進(jìn)行真空排氣,用噴槍從外部噴射氦氣時(shí),檢測泄漏到工件中的氦氣的方法。
真空罩法
這是一種對工件內(nèi)部進(jìn)行真空抽真空并用罩蓋住,并在罩內(nèi)對氦氣加壓以檢測泄漏到工件中的氦氣的方法。
加壓方式
嗅探器
這是一種在對工件內(nèi)部進(jìn)行真空抽吸后對氦氣加壓,然后用吸槍探頭將泄漏的氦氣吸出以檢測泄漏的方法。
真空鐘罩法
這是一種將工件放置在腔室中,對工件進(jìn)行抽真空,然后對氦氣加壓,對腔室內(nèi)部進(jìn)行抽真空以將腔室內(nèi)部排出以檢測氦氣泄漏到真空室中的方法。
加壓集成方式
這是一種將工件放入罩中,對工件進(jìn)行抽真空,并對氦氣加壓,以將從泄漏點(diǎn)泄漏到罩內(nèi)的氦氣積累一段時(shí)間,并檢測罩中積聚的氦氣(濃度)的方法。
轟炸方式
這是將工件放入罐中,抽真空一定時(shí)間,用氦氣加壓一定時(shí)間,然后將工件從罐中取出,將工件放入腔室中,對腔室進(jìn)行抽真空,以檢測因泄漏而進(jìn)入工件的氦氣。
泄漏測試設(shè)備 加壓積分法
加壓積分法電路配置

氦氣檢漏儀 LDS3000AQ 電路配置

氦氣檢測傳感器原理
180° 磁場脫毛質(zhì)譜儀

- 進(jìn)入LDS3000AQ的氦氣通過渦輪分子泵的反向擴(kuò)散現(xiàn)象到達(dá)分析管。
- 到達(dá)分析儀的分子被細(xì)絲的電子轉(zhuǎn)化為 + 離子,由于加速電壓,它們沿 - 方向移動(dòng)。
- + 當(dāng)離子通過磁場時(shí),軌道根據(jù)氣體的質(zhì)量進(jìn)行劃分。
- 只有帶有 + 離子的氦氣到達(dá)離子收集器,并被前置放大器放大為電流進(jìn)行測量。
泄漏檢測設(shè)備 真空鐘罩法
真空鐘罩式反應(yīng)法電路配置

氦氣檢測器 LDS3000 電路配置
還有一個(gè)帶有內(nèi)置閥的集成檢漏儀,可針對每個(gè)連接壓力自動(dòng)切換每個(gè)端口。請隨時(shí)與我們聯(lián)系以獲取規(guī)格。

氦氣檢測原理
180° 磁場脫毛質(zhì)譜儀

- 進(jìn)入LDS3000的氦氣通過渦輪分子泵的反向擴(kuò)散現(xiàn)象到達(dá)分析管。
- 到達(dá)分析儀的分子被細(xì)絲的電子轉(zhuǎn)化為 + 離子,由于加速電壓,它們沿 - 方向移動(dòng)。
- + 當(dāng)離子通過磁場時(shí),軌道根據(jù)氣體的質(zhì)量進(jìn)行劃分。
- 只有帶有 + 離子的氦氣到達(dá)離子收集器,并被前置放大器放大為電流進(jìn)行測量。