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LINTEC林泰克晶片翹曲矯正高溫氣體加熱器HX-0301L北崎熱賣
2025/05/29 16:21:26
小型氣體加熱器(熱交換器)
瞬間高效率流體加熱技術(shù)產(chǎn)品HX系列。
小型氣體加熱器的用途
可加熱各種流體
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
各種流體加熱
該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質(zhì)的加熱模塊,加熱部分與流體不直接接觸,可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。
瞬間且穩(wěn)定的流體加熱
在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。
通常,配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點,即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心,從而達(dá)到穩(wěn)定加熱的目的。
質(zhì)量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
在半導(dǎo)體制造工藝中,不僅需要對氣體進行加熱處理,氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設(shè)置質(zhì)量流量控制器以控制流量,加熱器(輸出端)則需采用低壓降結(jié)構(gòu)。LINTEC研發(fā)的HX系列加熱器具備低壓降結(jié)構(gòu),適合與質(zhì)量流量控制器輸出端連接使用。
高溫氣體加熱器HX-0301L
可*將250SLM的N2氣體加熱至300℃的小型氣體加熱器。
特點
高240㎜×寬101㎜×長75㎜的緊湊型設(shè)計
*流量250SLM
*使用溫度300℃
2臺并用可以將500SLM加熱至*300℃
設(shè)定溫度與出口處氣體溫度差異較小
高溫氣體加熱器
【HX-0301L】
使用范例
晶片翹曲矯正
晶片可能會因反復(fù)沉積而翹曲。對策便是用高溫大流量的熱風(fēng)進行矯正。如果同時使用兩臺HX-0301系列高溫氣體加熱器,則可以產(chǎn)生300℃、500SLM的高溫大流量,是晶片翹曲矯正的理想選擇。
規(guī)格表
流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接觸氣體部位材質(zhì) | |
規(guī)格 | 250SLM | 94kPa | 1MPa | 300℃ | SUS316L不銹鋼 |
※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產(chǎn)品詳情請直接致電或郵件咨詢LINTEC。