質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化過程控制的核心組件，MFC通過將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實(shí)現(xiàn)對(duì)流體流量的高精度閉環(huán)控制，典型控制精度可達(dá)±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。

質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào)，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進(jìn)行流量的控制。

型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體制造：

晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）

CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）

2. 新能源領(lǐng)域：

燃料電池氫氣供應(yīng)（動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms）

鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制））

3. 制藥行業(yè)：

生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）

凍干機(jī)惰性氣體保護(hù)（露點(diǎn)控制<-70℃）

無(wú)菌灌裝環(huán)境控制（ISO 5級(jí)潔凈度）

4. 科研實(shí)驗(yàn)：

催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）

技術(shù)驗(yàn)證數(shù)據(jù)

案例1：半導(dǎo)體刻蝕工藝

控制氣體：Cl?/HBr混合氣

流量范圍：50-200sccm

穩(wěn)定性測(cè)試：8小時(shí)波動(dòng)<±0.3%

案例2：燃料電池測(cè)試

氫氣流量：0-5000sccm

階躍響應(yīng)：10%-90%流量變化耗時(shí)200ms

耐久測(cè)試：連續(xù)工作5000小時(shí)零漂移