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首頁 >高斯摩（成都）國際貿(mào)易有限公司> 技術(shù)文章> ULVAC愛發(fā)科 皮拉尼真空計(jì) SP1
ULVAC愛發(fā)科 皮拉尼真空計(jì) SP1
2025/07/07 14:44:01
ULVAC愛發(fā)科 皮拉尼真空計(jì) SP1
ULVAC愛發(fā)科 皮拉尼真空計(jì) SP1
傳感器單元 SP1 是一種傳感器型皮拉尼真空計(jì)，其中集成了測量元件和電路，可節(jié)省成本和空間。
長處
節(jié)省成本和空間的傳感器類型
燈絲材料由鉑制成，具有優(yōu)異的耐腐蝕性。
2 個(gè)設(shè)定點(diǎn)輸出，測量元件輸出：DC0~5V（非線性輸出）
電源電壓：DC24V 輸入
用
用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的低真空范圍內(nèi)的過程控制
用于窯爐和其他工業(yè)設(shè)備的低真空范圍內(nèi)的過程控制
用于具有許多工藝腔室的各種制造設(shè)備（如在線和單晶片）的低真空范圍內(nèi)的過程控制
| 類型 | 傳感器單元 |
| 型 | 第 1 頁 |
| 自適應(yīng)測量元件 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
|
測量精度
|
±15 %（51 Pa ~760 Pa） |
| ±30 %（10 帕 ~1000 帕） | |
| ±50 %（0.4 帕 ~3000 帕） | |
| 工作溫度范圍 | 10~40°C |
| 采樣時(shí)間 | 50ms 5 移動(dòng)平均線處理 |
|
測量值輸出
|
非線性輸出：DC0-5V（* 10V） |
| （更新時(shí)間） 50 ms | |
| （分辨率） 10 mV | |
| 用于設(shè)定點(diǎn) 1/2 調(diào)整的輸出 | 非線性輸出：DC 0-5V（* 10V） |
| 控制輸出信號(hào) | 集電極開路，負(fù)邏輯 |
| 錯(cuò)誤信號(hào) | |
| 設(shè)定點(diǎn) 1/2 | |
| LED 指示 | 功率、錯(cuò)誤、設(shè)定點(diǎn) 1/2 |
| 電源電壓 | DC24V±2V， 90mA（*） |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15P（M2.6 螺絲） |
| 體重 | 190g （不包括測量元件） |
|
附屬品 |
1 組 I/O 連接器 |
| 快速手冊 （1 份） |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。
