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SURUGA駿河精機(jī) 自動(dòng)載物臺(tái) KRB04017M-EN-D
SURUGA駿河精機(jī) 自動(dòng)載物臺(tái) KRB04017M-EN-D
SURUGA駿河精機(jī) 自動(dòng)載物臺(tái) KRB04017M-EN-D
自動(dòng)載物臺(tái)(Automated Stage)是一種精密的機(jī)電一體化設(shè)備,主要用于顯微鏡系統(tǒng)或其他光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)中,能夠?qū)崿F(xiàn)樣品的高精度、自動(dòng)化移動(dòng)定位。作為現(xiàn)代顯微技術(shù)和自動(dòng)化檢測(cè)系統(tǒng)的核心組件,自動(dòng)載物臺(tái)通過計(jì)算機(jī)控制,可以按照預(yù)設(shè)程序移動(dòng)樣品,大大提高了觀察效率和測(cè)量精度。
自動(dòng)載物臺(tái)通常由機(jī)械平臺(tái)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)(步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī))、位置傳感器、控制器和軟件接口等部分組成。根據(jù)不同的應(yīng)用需求,自動(dòng)載物臺(tái)可分為二維(X-Y軸)和三維(X-Y-Z軸)兩種基本類型,有些高端型號(hào)還配備了旋轉(zhuǎn)軸(θ軸)或傾斜功能。其行程范圍從幾毫米到數(shù)百毫米不等,定位精度可達(dá)亞微米級(jí)甚至納米級(jí)。
自動(dòng)載物臺(tái)的應(yīng)用領(lǐng)域
生命科學(xué)研究:
細(xì)胞生物學(xué):長時(shí)間活細(xì)胞觀察、細(xì)胞遷移追蹤
神經(jīng)科學(xué):神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)成像、腦切片分析
發(fā)育生物學(xué):胚胎發(fā)育過程記錄
病理學(xué):組織切片自動(dòng)掃描和數(shù)字病理分析
材料科學(xué):
材料表面形貌分析
微納米結(jié)構(gòu)表征
失效分析和缺陷檢測(cè)
涂層和薄膜性能評(píng)估
半導(dǎo)體工業(yè):
晶圓檢測(cè)和缺陷定位
集成電路微觀結(jié)構(gòu)分析
光刻工藝質(zhì)量控制
核心優(yōu)勢(shì)與技術(shù)專長
納米級(jí)定位技術(shù): 核心拳頭產(chǎn)品是精密線性平臺(tái)和旋轉(zhuǎn)平臺(tái),定位精度可達(dá)納米級(jí)(0.1微米以下)甚至亞納米級(jí)。這得益于其在摩擦控制(如靜壓空氣軸承、精密導(dǎo)軌)、驅(qū)動(dòng)技術(shù)(直線電機(jī)、壓電電機(jī))和閉環(huán)反饋系統(tǒng)(高分辨率編碼器)上的深厚積累。
核心精密組件: 生產(chǎn)制造定位系統(tǒng)所需的關(guān)鍵高性能部件,如:
氣浮主軸/軸承: 提供無摩擦、無磨損、極高精度的旋轉(zhuǎn)和直線運(yùn)動(dòng)支撐。
高剛性導(dǎo)軌: 確保運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性和承載能力。
高分辨率光學(xué)/磁編碼器: 實(shí)現(xiàn)*的位置反饋。
定制化解決方案: 憑借強(qiáng)大的設(shè)計(jì)開發(fā)與精密加工能力,SURUGA 擅長為客戶量身定制復(fù)雜的機(jī)電一體化系統(tǒng),解決的精密運(yùn)動(dòng)控制挑戰(zhàn)。