推薦資料
更多
首頁 >高斯摩（成都）國際貿(mào)易有限公司> 技術(shù)文章> ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵 PST-200CXII
ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵 PST-200CXII
2025/07/03 15:49:14
ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵 PST-200CXII
ULVAC愛發(fā)科 濺射離子泵 PST-200CXII
濺射離子泵使用電場和磁場使氣體分子電離。 電離分子被電場加速并與固體目標(biāo)表面碰撞。 這種碰撞導(dǎo)致分子嵌入表面并產(chǎn)生真空。 該工藝對于去除惰性和反應(yīng)性氣體特別有效。
濺射離子泵是精密實驗和制造工藝的理想選擇，因為它們可以實現(xiàn) 10^-11 Torr 或更低的高真空，并且沒有機械運動部件，因此使用壽命長，維護成本低，并且不使用油來提供清潔、無污染的真空環(huán)境。 此外，與其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等優(yōu)點。
該泵利用濺射活性鈦的吸氣劑作用來增強高真空范圍內(nèi)的排氣特性。
通過優(yōu)化新元件和磁場，改善了極端和高真空范圍內(nèi)的排氣特性。
長處
兼容極端和高真空。 10 帶 ISO 標(biāo)準(zhǔn)測試圓球-9PA 裝置極限壓力演示。
惰性氣體強化排氣型（AU 型）實現(xiàn)了氬氣排氣性能的兩倍。 （與我們公司相比）
在高真空范圍內(nèi)實現(xiàn)大抽速。
可以在短時間內(nèi)排氣到高真空范圍。
在高真空范圍內(nèi)具有*的啟動特性。 （放電可承受至高真空）
用
粒子加速器
電子顯微鏡
電子束光刻設(shè)備
抗振分析儀
使用極端和高真空環(huán)境等
| 型 | PST-110AU 型 | PST-200CXII 系列 | PST-200AXII 系列 | PST-400CXII 系列 | PST-400AXII | |
| 廢氣目標(biāo)氣體 | 活性氣體 | 活性氣體 | 稀有氣體 | 活性氣體 | 稀有氣體 | |
| 再生抽速* |
0.11 米3/s N2 測量氣體時 |
0.2 米3/s N2 測量氣體時 |
0.02 米3/s 測量 Ar 時 |
0.36 米3/s N2 測量氣體時 |
0.19 米3/s 測量 Ar 時 |
|
| 極限壓力 | 10-9帕 | 10-10帕 | ||||
| 工作壓力 | 建議的值 | <4.5x10-3帕 | <3.8x10-3帕 | <3.0x10-3帕 | ||
| 內(nèi)部卷 | 6.5 倍 10-3m3 | 11 倍 10-3m3 | 14x10-3m3 | |||
| 泵元件數(shù)量 | AU 型電池 x2 | 2 個 CX 型電池× | 2 個 AX 型電池× | CX 型單元格 × 4 個公式 | 4 個 AX 型電池× | |
| 連接法蘭類型 | UFC152的 | UFC203 | ||||
| 施加電壓 | 直流+7.5kV | |||||
| 加熱加熱器 | 無設(shè)置 | 單相 AC200V，600W | 單相 AC200V，800W | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度 | 250°C | |||||
| 質(zhì)量 | 36.5 千克 | 65 公斤 | 124 公斤 | |||
| 尺寸 W×D×H | 171×387×293毫米 | 296×361×376毫米 | 296×544×376毫米 | |||
| 使用環(huán)境 | 溫度范圍 | 5~40°C | ||||
| 濕度范圍 | 85% 或更低（無冷凝） | |||||
| 泵固定螺栓孔尺寸 |
4 位 - M6 深度 15mm |
4 位 - M8 厚度 15 毫米 |
6 位 - M8 深度 15 毫米 |
|||
| 的控制器 | 商品及服務(wù)稅 （GST-07L-B） | |||||
