北崎供應(yīng)Lintec 琳得科 MC-11RC 經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器

北崎供應(yīng)Lintec 琳得科 MC-11RC 經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器

經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器MC-10RC
采用橡膠密封的質(zhì)量流量控制器，具有制作周期短、成本低的特點(diǎn)。
適用于Ar、N2等惰性氣體及Air的流量控制。由于型號(hào)固定，所以制作周期較短。
選配VR（可變流量）功能可改變流量范圍。支持RS-485數(shù)字通信接口。
特點(diǎn)
經(jīng)濟(jì)適用
選配規(guī)格
可變流量（VR）功能
RS-485通訊接口
使用范例
PVD
在PVD濺射鍍膜設(shè)備中，通常使用Ar（氬），這是一種穩(wěn)定的、耐化學(xué)反應(yīng)的惰性氣體。 如果您需要使用MFC控制Ar之類的惰性氣體的流量，我們建議使用經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器（MC-10RC）。
惰性氣體分析、實(shí)驗(yàn)設(shè)備
如果流量控制的目標(biāo)氣體不會(huì)腐蝕密封材中的樹(shù)脂部分，我們建議使用經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器MC-10RC。此外，可選的VR功能可支持不同氣體類型與流量范圍。該產(chǎn)品是簡(jiǎn)單實(shí)驗(yàn)、分析設(shè)備的理想選擇。

簡(jiǎn) 介MC-10采列主要對(duì)應(yīng)短制作時(shí)間及低成本考慮需求的質(zhì)量流量控制器
特 點(diǎn)
使用橡膠密封，著重低成本考慮流量精度于 ±1%ES.內(nèi)適用 10SCCM~50SLM的寬廣滿量程流量范圍可追加變更流量范圍功能 VR :(基準(zhǔn)流量 )÷(全流量)C.F.=VR 值，將不同 VR 值輸入機(jī)臺(tái)外部的 3 位數(shù)旋鈕即可選擇不同氣體種類及滿量程流量搭載 VR 機(jī)能，一臺(tái)質(zhì)量流量控制器，可適用各種不同氣體以及滿量程流量的變更，降低用戶成本可追加 RS-485 通訊接口，*可同時(shí)連接 32 臺(tái)質(zhì)量
流量控制器搭配 LINTEC 獨(dú)創(chuàng)的環(huán)境溫度補(bǔ)償式質(zhì)流傳感器采用高速度，高性能的電磁控制閥采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場(chǎng)的環(huán)境下亦能維持其安定性