特點(diǎn)

• 結(jié)構(gòu)緊湊，排氣量大。

• 氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。

• 豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應(yīng)用需求。

• 內(nèi)置自動(dòng)復(fù)位型熱保護(hù)器等安全設(shè)計(jì)。

• 大氣壓下可運(yùn)作。

• 可全壓力范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

• 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便。

用途

• 真空吸盤，真空鑷子。

• 半導(dǎo)體行業(yè)。（處理機(jī)，貼片機(jī)）

• FPD行業(yè)。（壓合機(jī)）

• 印刷機(jī)。

• 注塑成型。

• 吸附和轉(zhuǎn)移。

規(guī)格

*1:極限壓力如（）真空計(jì)顯示。

*2:不包括電源插頭和電源線

對(duì)應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)/電壓

■TUV是由執(zhí)行產(chǎn)品安全測(cè)試及的國(guó)際第三方組織審查，符合歐洲規(guī)格的高品質(zhì)產(chǎn)品。

使用上的注意

1　如果在負(fù)載運(yùn)作期間停止泵，然后立即重新啟動(dòng)，則可能無(wú)法重新啟動(dòng)。
在這種情況下，將泵內(nèi)部恢復(fù)到大氣壓。

2　請(qǐng)不要吸入腐蝕性氣體，有機(jī)溶劑，液體和可冷凝氣體（如水蒸氣）。
另外，請(qǐng)確保污垢和灰塵不會(huì)進(jìn)入泵內(nèi)部。

3　泵的滑動(dòng)材料會(huì)在運(yùn)行過(guò)程中磨損，產(chǎn)生磨損粉末。
此外，所使用的滑動(dòng)材料對(duì)抗水性較弱，因此吸入水分則會(huì)加速磨損并縮短其壽命。
不要吸入水分和可冷凝氣體（水蒸汽等）。

4　僅供室內(nèi)使用。
請(qǐng)勿安裝在下雨或淹水的地方或室外。

尺寸圖