HORIBA掘場EV-140C等離子體排放監(jiān)測器北崎國際

發(fā)布時(shí)間：2025/02/12 13:51:11 發(fā)布廠商：北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺(tái)

這是發(fā)射光譜法的終點(diǎn)監(jiān)測器，用于檢測使用等離子體的半導(dǎo)體薄膜工藝中的終點(diǎn)或管理等離子體條件。
新開發(fā)的算法 “Rupture Intensity” 可以準(zhǔn)確檢測微弱信號(hào)變化的終點(diǎn)。
為了捕捉到發(fā)射光的微弱變化，靈敏度得到了極大的提高。
此外，通過提高抗噪性，確保 24 小時(shí)運(yùn)行的生產(chǎn)線在惡劣環(huán)境中高度穩(wěn)定運(yùn)行。

制造商： HORIBA CORPORATION

業(yè)務(wù)領(lǐng)域：半導(dǎo)體

產(chǎn)品類別：干法工藝控制

制造商： HORIBA， Ltd.

使用孔徑比為 F/2 的亮光柵
2048Ch 高靈敏度、高分辨率背照式 CCD 線傳感器
用于高級(jí)過程控制 Sigma-P 的軟件

對(duì)于希望演示的客戶

我們將借給您一套 EV-140C，以匹配您的系統(tǒng)并安心采用它。
對(duì)于給您帶來的不便，我們深表歉意，但請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖標(biāo)并輸入所需信息。
我們的工作人員將確認(rèn)所需的日期和所需的系統(tǒng)。

傳感器部分

分光鏡
波長范圍	200-800 納米
光學(xué)分辨率	<2.0nm @λ=200-500nm <2.5nm @λ=500-700nm （FWHM 理論分解

可滾動(dòng)

光學(xué)工作臺(tái)
設(shè)計(jì)	平場像差校正多色儀
焦距	140 毫米
高階光截止濾波器	內(nèi)置

可滾動(dòng)

探測器
CCD 型	薄型背照式 CCD 線陣圖像傳感器
元素?cái)?shù)	2048 × 64
A/D 分辨率	16 位
曝光時(shí)間控制	20 毫秒至 2.5 秒（以 10 毫秒為步長設(shè)置）

可滾動(dòng)

一般規(guī)格
測量光輸入	光纖輸入
傳感器單元尺寸	137（寬）×156（高）×257（深）毫米
傳感器質(zhì)量	4.0 千克
連接的腔室數(shù)量	1通道
電源規(guī)格	直流24V±10%
功耗	12 伏安
工作環(huán)境溫度	15-35°C
儲(chǔ)存環(huán)境溫度	0-50°C（無冷凝）
工作/儲(chǔ)存濕度	<80%RH@25°C（非冷凝）
LCD 顯示屏	執(zhí)行狀態(tài)/傳感器錯(cuò)誤/控制器錯(cuò)誤
冷卻風(fēng)扇	DC 風(fēng)扇

可滾動(dòng)

I/O
◎ 模擬輸出（根據(jù)配方實(shí)時(shí)輸出計(jì)算結(jié)果） )
輸出端口數(shù)	2 通道
電壓輸出	0-5VDC 直流
◎ 數(shù)字輸入/輸出（通過外部遠(yuǎn)程協(xié)議進(jìn)行配方設(shè)置和端點(diǎn)輸出）
數(shù)字輸出	PIO/DI=8 位/DO=8 位
外部通用連接器	Dsub25S （并行 IO 端口，用于模擬輸出）
控制器接口	Erthanet ×1 端口

可滾動(dòng)

控制器（FA規(guī)格計(jì)算機(jī)）

大小	197（寬）×148（高）×250（深）毫米
操作系統(tǒng)	WindowsXP Embedded （英文版）
中央處理器	賽揚(yáng) 1.3GHz
主要	1GB
硬盤	80GB
外部接口	- 以太網(wǎng)×2 - RS-232C×2
電源規(guī)格	AC90-264V 50/60±3Hz

可滾動(dòng)

外部遠(yuǎn)程協(xié)議

遠(yuǎn)程協(xié)議	并行 I/O/RS232C 串行協(xié)議 *單獨(dú)支持 LAN 連接

可滾動(dòng)

合規(guī)標(biāo)準(zhǔn)	CE/FCC

可滾動(dòng)

配件

光纖
光纖規(guī)格	合成石英纖維
外部纖維等級(jí)	VIS 用 / 紫外線用和耐光性（2 種類型可供選擇）
纖維長度	2m/5m（2種可選）

可滾動(dòng)

選項(xiàng)

交流電源裝置
電源輸入	AC90-264V 50/60±3Hz
功率輸出	DC24V 2A 輸出

可滾動(dòng)

聚焦光學(xué)元件
腔室適配器	聚光鏡單元

可滾動(dòng)

PC 配件
PC 配件	LCD 顯示器/鍵盤/鼠標(biāo)

可滾動(dòng)

PC 的電池選項(xiàng)
不間斷電源	控制器 PC 的不間斷電源

HORIBA掘場

EV-140C

等離子體排放監(jiān)測器

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HORIBA掘場EV-140C等離子體排放監(jiān)測器北崎國際

對(duì)于希望演示的客戶

傳感器部分

控制器（FA規(guī)格計(jì)算機(jī)）

外部遠(yuǎn)程協(xié)議

配件

選項(xiàng)