原裝進(jìn)口EBARA 荏原 EST25N 干式真空泵

價(jià)格

￥6,371.00

型號(hào)

EST25N

品牌

EBARA 荏原

所在地

朝陽(yáng)區(qū)

更新時(shí)間

2025-08-20 08:45:32

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

原裝進(jìn)口EBARA 荏原 EST25N 干式真空泵

產(chǎn)品描述

原裝進(jìn)口EBARA 荏原 EST25N 干式真空泵

EST 型

干式真空泵能夠處理反應(yīng)副產(chǎn)物并排出大流量氣體

兼容高溫控制

抽速大

大流量排氣

采用耐腐蝕材料標(biāo)準(zhǔn)

耐腐蝕性增強(qiáng)選項(xiàng)

能夠在重負(fù)荷下進(jìn)行處理

在不同頻率下具有相同的性能（50/60 Hz）

油

提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL

產(chǎn)品介紹

EST 型號(hào)使用螺桿式轉(zhuǎn)子，并配備了高溫功能，可將泵中的氣體保持在高溫，使其非常適合 CVD 等形成反應(yīng)副產(chǎn)物的應(yīng)用。標(biāo)準(zhǔn)使用耐腐蝕材料，實(shí)現(xiàn)高抽速和高流量泵送，減少停機(jī)時(shí)間并有助于提高工藝效率。

規(guī)范

型		單位	EST10N 系列	EST25N 系列	EST100WN	EST200WN	EST300WN	EST500WN	EST800WN
抽速		升/分鐘	1,000	2,500	10,000	20,000	30,000	50,000	80,000
極限壓力		帕	2.7	0.4	0.4	0.4	0.4	0.4	0.5
連接直徑	進(jìn)氣口		西北 40	西北 40	西北 50	西北 100	西北 100	ISO160	ISO200
連接直徑	排氣口		西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40
極限壓力下的近似功率		千瓦	2.3	3	3.2	3.2	4.5	4.6	4.6
冷卻水	流量	升/分鐘	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷卻水	溫度	°C	*多 30 個(gè)	*多 30 個(gè)	*多 30 個(gè)	*多 30 個(gè)	*多 30 個(gè)	*多 30 個(gè)	*多 30 個(gè)
注 2	流量	帕?m3/秒			9	24~29	28~31	28~31	28~31
電源相位/電壓/頻率	200V 型號(hào)		三相/200-220V，50/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
電源相位/電壓/頻率	400V 型號(hào)		三相/380-440V，50/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	-
電源容量		千伏安	4.6	7.3	8.2	8.5	12.7	15.1	16
近似質(zhì)量		公斤	260	300	380	430	500	550

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